<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?> <!DOCTYPE book PUBLIC "-//NLM//DTD BITS Book Interchange DTD v2.3 20210610//EN" "BITS-book2.3.dtd"> <book xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink" xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" book-type="conference-proceedings" dtd-version="2.3" xml:lang="ru"> <front> <book-meta>   <book-id pub-id-type="doi">10.21661/a-339</book-id>   <title-group>  <book-title xml:lang="ru">Научные исследования: от теории к практике</book-title>   </title-group>  <description xml:lang="ru"> <p>В сборнике представлены статьи участников XI Международной научно–практической конференции, посвященные актуальным вопросам науки и образования. В материалах сборника приведены результаты теоретических и прикладных изысканий представителей научного и образовательного сообщества в данной области.</p> </description>   <contrib-group>  <contrib contrib-type="editor" id="editor1">  <contrib-id contrib-id-type="role">chief_editor</contrib-id>    <name-alternatives>  <name name-style="eastern" xml:lang="ru"> <surname>Широков</surname> <given-names>Олег Николаевич</given-names> </name>   </name-alternatives>   <email xlink:type="simple">425954@rambler.ru</email> </contrib>  <contrib contrib-type="editor" id="editor2">    <name-alternatives>  <name name-style="eastern" xml:lang="ru"> <surname>Абрамова</surname> <given-names>Людмила Алексеевна</given-names> </name>   </name-alternatives>   <email xlink:type="simple">labramova@interactive-plus.ru</email> </contrib>  <contrib contrib-type="editor" id="editor3">  <contrib-id contrib-id-type="role">executive_editor</contrib-id>    <name-alternatives>  <name name-style="eastern" xml:lang="ru"> <surname>Яковлева</surname> <given-names>Татьяна Валериановна</given-names> </name>   </name-alternatives>   <email xlink:type="simple">info@interactive-plus.ru</email> </contrib>  <contrib contrib-type="editor" id="editor4">  <contrib-id contrib-id-type="role">associate_editor</contrib-id>    <name-alternatives>  <name name-style="eastern" xml:lang="ru"> <surname>Семенова</surname> <given-names>Светлана Юрьевна</given-names> </name>   </name-alternatives>   <email xlink:type="simple">ssemenova@interactive-plus.ru</email> </contrib>  </contrib-group>   <contrib-group>  <contrib contrib-type="member-of-organizing-committee" id="orgcomm1">  <contrib-id contrib-id-type="role">chief_editor</contrib-id>    <name-alternatives>  <name name-style="eastern" xml:lang="ru"> <surname>Широков</surname> <given-names>Олег Николаевич</given-names> </name>   </name-alternatives>   </contrib>  <contrib contrib-type="member-of-organizing-committee" id="orgcomm2">    <name-alternatives>  <name name-style="eastern" xml:lang="ru"> <surname>Абрамова</surname> <given-names>Людмила Алексеевна</given-names> </name>   </name-alternatives>   </contrib>  <contrib contrib-type="member-of-organizing-committee" id="orgcomm3">    <name-alternatives>  <name name-style="eastern" xml:lang="ru"> <surname>Бекназаров</surname> <given-names>Рахым Агибаевич</given-names> </name>   </name-alternatives>   </contrib>  <contrib contrib-type="member-of-organizing-committee" id="orgcomm4">    <name-alternatives>  <name name-style="eastern" xml:lang="ru"> <surname>Дадян</surname> <given-names>Эдуард Григорьевич</given-names> </name>   </name-alternatives>   </contrib>  <contrib contrib-type="member-of-organizing-committee" id="orgcomm5">    <name-alternatives>  <name name-style="eastern" xml:lang="ru"> <surname>Стойчева</surname> <given-names>Мария Стойчева</given-names> </name>   </name-alternatives>   </contrib>  </contrib-group>   <event>  <event-desc xml:lang="ru">Научные исследования: от теории к практике</event-desc>   <event-desc xml:lang="en">Scientific studies: from theory to practice</event-desc>     <conf-loc xml:lang="ru">Чебоксары</conf-loc>  </event>   <publisher> <publisher-name>Центр научного сотрудничества «Интерактив плюс»</publisher-name> </publisher>    <pub-date pub-type="collection"> <year>2017</year> </pub-date>   <volume>1</volume>   <permissions> <copyright-statement>Copyright &#x00A9; Земнов К. Э., Чащин Е. Д., Белова И. М., 2017</copyright-statement> <copyright-year>2017</copyright-year> <license license-type="open-access" xlink:href="https://creativecommons.org/licenses/by/4.0/" xlink:type="simple"> <license-p>This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.</license-p> </license> </permissions>  </book-meta> <book-part book-part-type="conference-paper"> <book-part-meta>   <book-id custom-type="publisher-id" pub-id-type="custom">118057</book-id> <title-group>  <chapter-title xml:lang="ru">Обзор методов моделирования процесса травления</chapter-title>   </title-group>  <contrib-group>   <contrib contrib-type="author" id="author1">   <name-alternatives>  <name name-style="eastern" xml:lang="ru"> <surname>Земнов</surname> <given-names>Кирилл Эдуардович</given-names> </name>    </name-alternatives>  <email xlink:type="simple">asb-kirill@mail.ru</email> <xref ref-type="aff" rid="aff1"/> </contrib>   <contrib contrib-type="author" id="author2">   <name-alternatives>  <name name-style="eastern" xml:lang="ru"> <surname>Чащин</surname> <given-names>Евгений Дмитриевич</given-names> </name>    </name-alternatives>   <xref ref-type="aff" rid="aff1"/> </contrib>   <contrib contrib-type="author" id="author3">   <name-alternatives>  <name name-style="eastern" xml:lang="ru"> <surname>Белова</surname> <given-names>Ирина Михайловна</given-names> </name>    </name-alternatives>   <xref ref-type="aff" rid="aff1"/> </contrib>   <aff-alternatives id="aff1">   <aff xml:lang="ru">  <institution>ФГАОУ ВО «Московский политехнический университет»</institution>   <country>Россия</country> </aff>     </aff-alternatives>  </contrib-group>   <fpage>31</fpage> <lpage>35</lpage>   <abstract xml:lang="ru"> <p>как отмечают авторы данной статьи, продвижение фронта травления представляет собой в основном геометрическую задачу. Выбор способа описания эволюции определяет точность аппроксимации профиля и затраты машинного времени. Для моделирования используются три основных способа и их модификации: метод струны; метод характеристик; метод ячеек.</p> </abstract>           <kwd-group xml:lang="ru">  <kwd>метод струны</kwd>  <kwd>метод характеристик</kwd>  <kwd>метод ячеек</kwd>  <kwd>моделирование травления</kwd>  </kwd-group>        </book-part-meta> </book-part> </front>  <back> <ref-list> <title>References</title>  <ref id="ref1"> <label>1</label> <citation-alternatives>  <mixed-citation xml:lang="ru">1. Галперин В.А. Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях / В.А. Галперин, Е.В. Данилкин, А.И. Мочалов. – М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2013. – 285 с.</mixed-citation>    </citation-alternatives> <element-citation publication-type="other">  <person-group person-group-type="author">  <name> <surname>Галперин</surname> <given-names>В. А.</given-names> </name>  <name> <surname>Данилкин</surname> <given-names>Е. В.</given-names> </name>  <name> <surname>Мочалов</surname> <given-names>А. И.</given-names> </name>  </person-group>   <article-title>Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях</article-title>               <publisher-loc>М.</publisher-loc> <publisher-name>БИНОМ. Лаборатория знаний</publisher-name>  </element-citation> </ref>  <ref id="ref2"> <label>2</label> <citation-alternatives>  <mixed-citation xml:lang="ru">2. Королев М.А. Технология, конструкции и методы кремниевых интегральных микросхем / М.А. Королев, Т.Ю. Крупкина, М.А. Ревелева. – М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2012. – 399 с.</mixed-citation>    </citation-alternatives> <element-citation publication-type="other">  <person-group person-group-type="author">  <name> <surname>Королев</surname> <given-names>М. А.</given-names> </name>  <name> <surname>Крупкина</surname> <given-names>Т. Ю.</given-names> </name>  <name> <surname>Ревелева</surname> <given-names>М. А.</given-names> </name>  </person-group>   <article-title>Технология, конструкции и методы кремниевых интегральных микросхем</article-title>               <publisher-loc>М.</publisher-loc> <publisher-name>БИНОМ. Лаборатория знаний</publisher-name>  </element-citation> </ref>  <ref id="ref3"> <label>3</label> <citation-alternatives>  <mixed-citation xml:lang="ru">3. Мухамадеев Р.А. Моделирование процессов травления микро- и наноструктур с использованием программного модуля «NEMO etching». Доклады ТУСУРа / Р.А. Мухамадеев, Т.И. Данилина. – 2014. – №1 (31). – С. 95–98.</mixed-citation>    </citation-alternatives> <element-citation publication-type="other">  <person-group person-group-type="author">  <name> <surname>Мухамадеев</surname> <given-names>Р. А.</given-names> </name>  <name> <surname>Данилина</surname> <given-names>Т. И.</given-names> </name>  </person-group>   <article-title>Моделирование процессов травления микро- и наноструктур с использованием программного модуля «NEMO etching». Доклады ТУСУРа</article-title>     <fpage>95</fpage> <lpage>98</lpage>         </element-citation> </ref>  <ref id="ref4"> <label>4</label> <citation-alternatives>  <mixed-citation xml:lang="ru">4. Травление [Электронный ресурс]. – Режим доступа: https://ru.wikipedia.org/wiki/Травление (дата обращения: 12.01.2017).</mixed-citation>    </citation-alternatives> <element-citation publication-type="web">   <article-title>Травление</article-title>         <ext-link ext-link-type="uri">https://ru.wikipedia.org/wiki/Травление</ext-link>      </element-citation> </ref>  </ref-list> </back>  </book>