Двухчастотные методы определения толщины и диэлектрических параметров тонких пленок - Sakhbiev T. R. (Новое слово в науке: перспективы развития, 2015)
автор статьи отмечает, что существует множество методов для измерения толщины и оптических характеристик тонких пленок на подложках. Достоинством бесконтактных методов, к которым, помимо прочих, относятся двухчастотные оптические методы, является возможность проводить измерения, не разрушая материал и не изменяя его свойства. Основным результатом выполняемой работы является решение важной научно-технической проблемы – улучшение метрологических характеристик и расширение функциональных возможностей лазерных систем контроля толщины и диэлектрических параметров тонких пленок, основанных на развитии теории и техники симметричной двухчастотной рефлектометрии на базе амплитудно-фазового метода преобразования одночастотного когерентного излучения в симметричное двухчастотное.
Keywords: тонкопленочные структуры; бесконтактные методы; двухчастотный метод; амплитудно-фазовая модуляция; одночастотное колебание; двухчастотное колебание; лазерное излучение; толщина пленки; диэлектрические параметры