List of publications on a keyword: «селективность»


Технические науки (электромеханика, приборостроение, машиностроение, металлургия и др.)

Publication date: 19.11.2015
Evaluate the material Average score: 5 (Всего: 3)
Osipov Artem Armenakovich , аспирант
St. Petersburg Institute of Machinery of St. Petersburg Polytechnic University named after Peter the Great , Санкт-Петербург г

«Влияние расхода полимеризующего газа CHF3 на технологические параметры плазмохимического травления кремния»

Download an article

Оптимизация операционных параметров глубокого анизотропного плазменного травления кремния требует четкого понимания влияния каждого из них на технологические параметры и качество результата травления. В данной работе было рассмотрено влияние расхода полимеризующего газа на скорость, селективность, анизотропию и равномерность травления, а также на значение угла наклона вертикальной стенки при формировании глубоких структур (канавок) в кремнии методом ПХТ (плазмохимическое травление). Проведенные эксперименты позволили установить зависимости вышеперечисленных характеристик от расхода полимеризующего газа и связать их с толщиной защитной пленки, образующейся на стадии пассивации