978-5-6053319-6-4 10.21661/a-938 Вопросы науки и образования: новые подходы и актуальные исследования Issues of Science and Education: New Approaches and Current Studies

В сборнике представлены материалы участников Всероссийской научно-практической конференции с международным участием, отражающие содержание актуальных исследований в различных областях научного знания. Приведены результаты теоретических и прикладных изысканий представителей научного и образовательного сообщества. Предназначен для широкого круга читателей.

 Кожанов Виктор Иванович Kozhanov Victor Ivanovich sportkomplex.chgu@yandex.ru executive_editor Яковлева Татьяна Валериановна Yakovleva Tatyana Valerianovna info@interactive-plus.ru associate_editor Иванова Екатерина Владимировна Кожанов Виктор Иванович Kozhanov Victor Ivanovich Сорокоумова Галина Вениаминовна Sorokoumova Galina Veniaminovna https://orcid.org/0000-0002-5246-5200 Краснова Светлана Гурьевна Krasnova Svetlana Guryevna Вопросы науки и образования: новые подходы и актуальные исследования Issues of Science and Education: New Approaches and Current Studies 20 02 2025 Чебоксары Центр научного сотрудничества «Интерактив плюс» 1900 Copyright © Жукешова А. А., Амренова А. У., 2025 2025 This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License. 10.21661/r-564503 564503 Цифровое устройство перемещения образцов и его испытание в вакуумной технологической установке Tsifrovoe ustroistvo peremeshcheniia obraztsov i ego ispytanie v vakuumnoi tekhnologicheskoi ustanovke Жукешова Айнур Ануаркызы Zhukeshova Ainur Anuarkyzy Амренова Асем Уахитовна Amrenova Asem Uakhitovna farabielectro@gmail.com Гимназия №132 Казахстан Gimnaziia 132 Kazakhstan ТОО «Национальная нанотехнологическая лаборатория открытого типа» Казахстан TOO "Natsional'naia nanotekhnologicheskaia laboratoriia otkrytogo tipa" Kazakhstan 210 212

в статье рассматривается цифровое устройство с шаговым двигателем для проведения технологических операций с перемещением образцов в вакуумной камере. Автором рассчитаны параметры устройства, сконструированы блок управления и электромеханическая часть. Проведена апробация устройства в вакуумной камере установки вакуумной дуги ВДУ в лаборатории ННЛОТ. Далее, устройство использовалось для заданного времени экспонирования образцов под плазменным потоком для напыления тонких покрытий. По результатам экспериментов изучены зависимости в структуре полученных покрытий и рассчитаны физические параметры осаждения в зависимости от времени экспонирования. Наблюдаемые характеристики покрытия связываются с процессом кластеризации структурных элементов покрытия.

 схема управления цифровое устройство вакуумная технология Работа была выполнена при финансовой поддержке Министерства Образования и Науки РК в рамках гранта №АР19676182. АР19676182 МОН РК References Розанов Л.Н. Вакуумная техника / Л.Н. Розанов. – М.: ВШ, 1982. – 207 с. Розанов Л. Н. Вакуумная техника М. ВШ Гибридные шаговые двигатели для работы в вакууме [Электронный ресурс]. – Режим доступа: www.lasercomponents.ru (дата обращения: 14.02.2025). Гибридные шаговые двигатели для работы в вакууме www.lasercomponents.ru Amrenova А.U. The deposition of films and particles using pulsed vacuum arc plasma at different pressure and temperature / А.U. Amrenova, A.M. Zhukeshov, B.M. Ibraev [и др.] // HTMP. – 2020 – T. 24. – С. 157–165. – DOI 10.1615/HighTempMatProc.2020034924. – EDN JYHJAH Amrenova А. U. Zhukeshov A. M. Ibraev B. M. The deposition of films and particles using pulsed vacuum arc plasma at different pressure and temperature HTMP 2020 157 165 10.1615/HighTempMatProc.2020034924 JYHJAH Wegner K. Design of metal nanoparticles synthesis by vapor flow condensation / K. Wegner // Chem. Eng. Science. – 2002. – Т. 57. №10. – С. 1753–1762. – EDN AXOYWB Wegner K. Design of metal nanoparticles synthesis by vapor flow condensation Chem 2002 57 10 1753 1762 AXOYWB Kun'ichi Miyazawa, Masaru Yoshitake, Yumi Tanaka (2017). HRTEM analyses of the platinum nanoparticles prepared on graphite particles using coaxial arc plasma deposition J. Nanopart. Res. 19:19110.1007/s11051-017-3895-6 Kun'ichi Miyazawa, Masaru Yoshitake, Yumi Tanaka (2017). HRTEM analyses of the platinum nanoparticles prepared on graphite particles using coaxial arc plasma deposition J. Nanopart. Res. 19:19110.1007