Амеличев Владимир Викторович

Место работы

Организация:
НПК «Технологический центр»
Должность:
начальник отдела
Звание:
канд. техн. наук

Статьи автора(1)

Создание диэлектрических мембран с низким уровнем механических напряжений

02.11.2015

Аннотация

в статье представлены результаты расчета механических напряжений в мембранах на основе комбинации пленок SiO2 и Si3N4. Рассчитано оптимальное соотношение толщин данных пленок для минимизации механических напряжений. Показано, что превышение данного значения ведет к преобладанию растягивающих напряжений, что приводит к большему «буклетированию». Показано, что гофрирование мембран позволяет увеличить механическую чувствительность за счет локализации в них механических напряжений
подробнее