Список публикаций по ключевому слову: «буклетирование»


Технические науки (электромеханика, приборостроение, машиностроение, металлургия и др.)

Дата публикации: 07.12.2015 г.
Оцените материал Средняя оценка: 0 (Всего: 0)
Амеличев Владимир Викторович , канд. техн. наук , начальник отдела
Генералов Сергей Сергеевич , начальник лаборатории
Никифоров Сергей Валерьевич , младший научный сотрудник
НПК «Технологический центр» , Москва г

«Создание диэлектрических мембран с низким уровнем механических напряжений»

Скачать статью

В статье представлены результаты расчета механических напряжений в мембранах на основе комбинации пленок SiO2 и Si3N4. Рассчитано оптимальное соотношение толщин данных пленок для минимизации механических напряжений. Показано, что превышение данного значения ведет к преобладанию растягивающих напряжений, что приводит к большему «буклетированию». Показано, что гофрирование мембран позволяет увеличить механическую чувствительность за счет локализации в них механических напряжений