Расчет профиля легирования примесями эпитаксиального слоя
Статья в сборнике трудов конференции
- Опубликовано в:
- III Международная научно-практическая конференция «Научные исследования: теория, методика и практика». Том 1
- Автор:
- Гостев А.Г. 1
- Рубрика:
- Естественные науки (физические и химические науки)
- Рейтинг:
- Статья просмотрена:
- 1746 раз
- Размещено в:
- eLibrary.ru
1 ФГБОУ ВО «Донской государственный технический университет»
- Полный текст
- Метрики
Комментарии(0)