Список публикаций по ключевому слову: «плазмохимическое травление»
Технические науки (электромеханика, приборостроение, машиностроение, металлургия и др.)
Дата публикации: 19.11.2015 г.
Оцените материал Средняя оценка: 5 (Всего: 3)
Санкт-Петербургский институт машиностроения ФГБОУ ВО «Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого» , Санкт-Петербург г
«Влияние расхода полимеризующего газа CHF3 на технологические параметры плазмохимического травления кремния»
Оптимизация операционных параметров глубокого анизотропного плазменного травления кремния требует четкого понимания влияния каждого из них на технологические параметры и качество результата травления. В данной работе было рассмотрено влияние расхода полимеризующего газа на скорость, селективность, анизотропию и равномерность травления, а также на значение угла наклона вертикальной стенки при формировании глубоких структур (канавок) в кремнии методом ПХТ (плазмохимическое травление). Проведенные эксперименты позволили установить зависимости вышеперечисленных характеристик от расхода полимеризующего газа и связать их с толщиной защитной пленки, образующейся на стадии пассивации