Список публикаций по ключевому слову: «плазмохимическое травление»



Технические науки (электромеханика, приборостроение, машиностроение, металлургия и др.)

Дата публикации: 19.11.2015 г.
Оцените материал Средняя оценка: 5 (Всего: 2)
Осипов Артем Арменакович , аспирант
Санкт-Петербургский институт машиностроения ФГБОУ ВО «Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого» , Санкт-Петербург г

«Влияние расхода полимеризующего газа CHF3 на технологические параметры плазмохимического травления кремния»

Скачать статью

Оптимизация операционных параметров глубокого анизотропного плазменного травления кремния требует четкого понимания влияния каждого из них на технологические параметры и качество результата травления. В данной работе было рассмотрено влияние расхода полимеризующего газа на скорость, селективность, анизотропию и равномерность травления, а также на значение угла наклона вертикальной стенки при формировании глубоких структур (канавок) в кремнии методом ПХТ (плазмохимическое травление). Проведенные эксперименты позволили установить зависимости вышеперечисленных характеристик от расхода полимеризующего газа и связать их с толщиной защитной пленки, образующейся на стадии пассивации