Влияние расхода полимеризующего газа CHF3 на технологические параметры плазмохимического травления кремния
Proceeding
- Published in:
- V Международная научно-практическая конференция «Научные исследования: от теории к практике». Volume 2
- Author:
- Osipov A. A. 1
- Work direction:
- Технические науки (электромеханика, приборостроение, машиностроение, металлургия и др.)
- Rating:
-
- Article accesses:
- 2696
- Published in:
- eLibrary.ru
- {{ trans.статья_процитирована }}:
- {{ `${currentLocale === 'ru' ? 'в ': ''}${citations.length} ${currentLocale === 'ru' ? 'работах' : 'articles'}` }}
1 St. Petersburg Institute of Machinery of St. Petersburg Polytechnic University named after Peter the Great
- {{ trans.полный_текст }}
- {{ trans.метрики }}
- {{ trans.статья_процитирована }}
Comments({{ comments.length }})