List of publications on a keyword: «microsystems technology»
Технические науки (электромеханика, приборостроение, машиностроение, металлургия и др.)
Publication date: 07.12.2015
Evaluate the material Average score: 0 (Всего: 0)
НПК «Технологический центр» , Москва г
Sergey S. Generalov
LLC "Research and Development Enterprise "Tekhnologia" , Москва г
Sergei V. Nikiforov
НПК «Технологический центр» , Москва г
«Создание диэлектрических мембран с низким уровнем механических напряжений»
The