List of publications on a keyword: «толщина пленки»


Технические науки (электромеханика, приборостроение, машиностроение, металлургия и др.)

Publication date: 28.11.2015
Evaluate the material Average score: 0 (Всего: 0)
Sakhbiev Timur Rafilevich , аспирант
FSFEI of HE "A.N. Tupolev Kazan national research technical university - KAI" , Татарстан Респ

«Двухчастотные методы определения толщины и диэлектрических параметров тонких пленок»

Download an article

Автор статьи отмечает, что существует множество методов для измерения толщины и оптических характеристик тонких пленок на подложках. Достоинством бесконтактных методов, к которым, помимо прочих, относятся двухчастотные оптические методы, является возможность проводить измерения, не разрушая материал и не изменяя его свойства. Основным результатом выполняемой работы является решение важной научно-технической проблемы – улучшение метрологических характеристик и расширение функциональных возможностей лазерных систем контроля толщины и диэлектрических параметров тонких пленок, основанных на развитии теории и техники симметричной двухчастотной рефлектометрии на базе амплитудно-фазового метода преобразования одночастотного когерентного излучения в симметричное двухчастотное.