Борисовский Владимир Евгеньевич

Место работы

Организация:
Институт высоких технологий ФГБОУ ВПО «Московский государственный университет приборостроения и информатики»
Должность:
заместитель директора
Звание:
д-р техн. наук, профессор

Статьи автора(1)

Оптимизация лазерного термораскалывания кремниевых пластин на кристаллы с органическими светоизлучающими структурами

07.08.2015

Аннотация

в работе теоретически и экспериментально исследованы зависимости и влияния скорости и плотности мощности лазерного излучения с эллиптическим сечением пучка на глубину трещины, образующейся в процессе ЛУТ на установке РТ‐350. Основное внимание уделяется кремниевым пластинам толщиною 725 мкм, т.к. именно их лазерная обработка представляется наиболее перспективной в производстве микродисплеев на основе органических светоизлучающих структур (ОСИД или OLED).
подробнее