Список публикаций по ключевому слову: «резка кремниевых подло-жек на кристаллы»



Технические науки (электромеханика, приборостроение, машиностроение, металлургия и др.)

Дата публикации: 14.08.2015 г.
Оцените материал Средняя оценка: 0 (Всего: 0)
Иванов Владимир Игоревич , аспирант
Кондратенко Владимир Степанович , д-р техн. наук, профессор , директор
Борисовский Владимир Евгеньевич , д-р техн. наук, профессор , заместитель директора
Институт высоких технологий ФГБОУ ВПО «Московский государственный университет приборостроения и информатики» , Москва г

«Оптимизация лазерного термораскалывания кремниевых пластин на кристаллы с органическими светоизлучающими структурами»

Скачать статью

В работе теоретически и экспериментально исследованы зависимости и влияния скорости и плотности мощности лазерного излучения с эллиптическим сечением пучка на глубину трещины, образующейся в процессе ЛУТ на установке РТ‐350. Основное внимание уделяется кремниевым пластинам толщиною 725 мкм, т.к. именно их лазерная обработка представляется наиболее перспективной в производстве микродисплеев на основе органических светоизлучающих структур (ОСИД или OLED).