List of publications on a keyword: «резка кремниевых подло-жек на кристаллы»


Технические науки (электромеханика, приборостроение, машиностроение, металлургия и др.)

Publication date: 14.08.2015
Evaluate the material Average score: 0 (Всего: 0)
Ivanov Vladimir Igorevich , аспирант
Kondratenko Vladimir Stepanovich , doctor of technical sciences, professor , директор
Borisovskii Vladimir Evgenevich , doctor of technical sciences, professor , заместитель директора
Институт высоких технологий ФГБОУ ВПО «Московский государственный университет приборостроения и информатики» , Москва г

«Оптимизация лазерного термораскалывания кремниевых пластин на кристаллы с органическими светоизлучающими структурами»

Download an article

В работе теоретически и экспериментально исследованы зависимости и влияния скорости и плотности мощности лазерного излучения с эллиптическим сечением пучка на глубину трещины, образующейся в процессе ЛУТ на установке РТ‐350. Основное внимание уделяется кремниевым пластинам толщиною 725 мкм, т.к. именно их лазерная обработка представляется наиболее перспективной в производстве микродисплеев на основе органических светоизлучающих структур (ОСИД или OLED).