Амеличев Владимир Викторович

в статье представлены результаты расчета механических напряжений в мембранах на основе комбинации пленок SiO2 и Si3N4. Рассчитано оптимальное соотношение толщин данных пленок для минимизации механических напряжений. Показано, что превышение данного значения ведет к преобладанию растягивающих напряжений, что приводит к большему «буклетированию». Показано, что гофрирование мембран позволяет увеличить механическую чувствительность за счет локализации в них механических напряжений

в статье представлены теоретические и экспериментальные данные контроля магнитных микрочастиц с помощью магниторезистивной матрицы. Авторами приведена экспериментальная зависимость изменения выходного сигнала ячейки магниторезистивной матрицы с магнитными микрочастицами при изменении магнитного поля