Список публикаций по ключевому слову: «MEMS»
Технические науки (электромеханика, приборостроение, машиностроение, металлургия и др.)
Дата публикации: 07.12.2015 г.
Оцените материал Средняя оценка: 0 (Всего: 0)
НПК «Технологический центр» , Москва г
Генералов Сергей Сергеевич , старший научный сотрудник
ООО «НПП «Технология» , Москва г
Никифоров Сергей Валерьевич , младший научный сотрудник
НПК «Технологический центр» , Москва г
«Создание диэлектрических мембран с низким уровнем механических напряжений»
В статье представлены результаты расчета механических напряжений в мембранах на основе комбинации пленок SiO2 и Si3N4. Рассчитано оптимальное соотношение толщин данных пленок для минимизации механических напряжений. Показано, что превышение данного значения ведет к преобладанию растягивающих напряжений, что приводит к большему «буклетированию». Показано, что гофрирование мембран позволяет увеличить механическую чувствительность за счет локализации в них механических напряжений