Генералов Сергей Сергеевич

в статье представлены результаты расчета механических напряжений в мембранах на основе комбинации пленок SiO2 и Si3N4. Рассчитано оптимальное соотношение толщин данных пленок для минимизации механических напряжений. Показано, что превышение данного значения ведет к преобладанию растягивающих напряжений, что приводит к большему «буклетированию». Показано, что гофрирование мембран позволяет увеличить механическую чувствительность за счет локализации в них механических напряжений

данная работа посвящена разработке микромеханического чувствительного элемента для волоконно-оптического преобразователя гидроакустического сигнала (ВОПГАС). Разработанный экспериментальный чувствительный элемент ВОПГАС представляет собой кремниевый кристалл с тонкой восьмигранной диэлектрической мембраной, закрепленной на кремниевой рамке. В центральной области гофрированной мембраны сформирован отражающий свет элемент на основе комбинации слоев Ni и NiCr общей толщиной 0,5 мкм. Среднее значение механической чувствительности экспериментального чувствительного элемента ВОПГАС в условиях водной...