Список публикаций по ключевому слову: «гидроакустическое давление»
Технические науки (электромеханика, приборостроение, машиностроение, металлургия и др.)
Дата публикации: 30.12.2016 г.
Оцените материал Средняя оценка: 0 (Всего: 0)
Фрязинский филиал ФГБУН «Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН» , Московская обл
Амеличев Владимир Викторович , канд. техн. наук , старший научный сотрудник
Генералов Сергей Сергеевич , старший научный сотрудник
ООО «НПП «Технология» , Москва г
«Чувствительный элемент для волоконно-оптического преобразователя гидроакустического сигнала»
Данная работа посвящена разработке микромеханического чувствительного элемента для волоконно-оптического преобразователя гидроакустического сигнала (ВОПГАС). Разработанный экспериментальный чувствительный элемент ВОПГАС представляет собой кремниевый кристалл с тонкой восьмигранной диэлектрической мембраной, закрепленной на кремниевой рамке. В центральной области гофрированной мембраны сформирован отражающий свет элемент на основе комбинации слоев Ni и NiCr общей толщиной 0,5 мкм. Среднее значение механической чувствительности экспериментального чувствительного элемента ВОПГАС в условиях водной среды составило 114 нм/Па, в диапазоне частот от 100 Гц до 6 кГц, при этом среднее значение резонансной частоты составило 9,1 кГц.