Егоров Федор Андреевич

в данной статье авторами предложен метод дистанционной самокалибровки волоконно-оптического гидрофона, обеспечивающий максимальную чувствительность датчика в жестких условиях эксплуатации. Метод основан на проведении периодического дистанционного контроля текущих значений ключевых параметров, характеризующих упруго-механические свойства сенсорного элемента микромембраны и оптические свойства торцевого измерительного интерферометра Фабри–Перо, определяющих чувствительность гидрофона в целом.

данная работа посвящена разработке микромеханического чувствительного элемента для волоконно-оптического преобразователя гидроакустического сигнала (ВОПГАС). Разработанный экспериментальный чувствительный элемент ВОПГАС представляет собой кремниевый кристалл с тонкой восьмигранной диэлектрической мембраной, закрепленной на кремниевой рамке. В центральной области гофрированной мембраны сформирован отражающий свет элемент на основе комбинации слоев Ni и NiCr общей толщиной 0,5 мкм. Среднее значение механической чувствительности экспериментального чувствительного элемента ВОПГАС в условиях водной...