Центр научного сотрудничества "Интерактив плюс"
info@interactive-plus.ru
+7 (8352) 222-490
2130122532
Центр научного сотрудничества «Интерактив плюс»
RU
428000
Чувашская Республика
г.Чебоксары
ул.Гражданская, д.75
428000, Россия, Чувашская Республика, г. Чебоксары, улица Гражданская, дом 75
+7 (8352) 222-490
RU
428000
Чувашская Республика
г.Чебоксары
ул.Гражданская, д.75
56.125001
47.208966

Чувствительный элемент для волоконно-оптического преобразователя гидроакустического сигнала

Статья в сборнике трудов конференции
DOI: 10.21661/r-115756
Open Access
III Международная научно-практическая конференция «Наука, образование, общество: тенденции и перспективы развития». Том 2
Creative commons logo
Опубликовано в:
III Международная научно-практическая конференция «Наука, образование, общество: тенденции и перспективы развития». Том 2
Авторы:
Егоров Ф.А. 1 , Амеличев В. В. 2 , Генералов С. С. 2
Рубрика:
Технические науки (электромеханика, приборостроение, машиностроение, металлургия и др.)
Рейтинг:
Статья просмотрена:
1921 раз
Размещено в:
eLibrary.ru
1 Фрязинский филиал ФГБУН «Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН»
2 ООО «НПП «Технология»
Для цитирования:
Егоров Ф. А. Чувствительный элемент для волоконно-оптического преобразователя гидроакустического сигнала: сборник трудов конференции. / Ф. А. Егоров, В. В. Амеличев, С. С. Генералов // Наука, образование, общество: тенденции и перспективы развития : материалы III Междунар. науч.-практ. конф. (Чебоксары, 11 дек. 2016 г.). В 2 т. Т. 2 / редкол.: О. Н. Широков [и др.] – Чебоксары: Центр научного сотрудничества «Интерактив плюс», 2016. – Т. 2. – С. 38-42. – ISBN 978-5-9909215-7-3. – DOI 10.21661/r-115756.

  • Метаданные
  • Полный текст
  • Метрики

Аннотация

Данная работа посвящена разработке микромеханического чувствительного элемента для волоконно-оптического преобразователя гидроакустического сигнала (ВОПГАС). Разработанный экспериментальный чувствительный элемент ВОПГАС представляет собой кремниевый кристалл с тонкой восьмигранной диэлектрической мембраной, закрепленной на кремниевой рамке. В центральной области гофрированной мембраны сформирован отражающий свет элемент на основе комбинации слоев Ni и NiCr общей толщиной 0,5 мкм. Среднее значение механической чувствительности экспериментального чувствительного элемента ВОПГАС в условиях водной среды составило 114 нм/Па, в диапазоне частот от 100 Гц до 6 кГц, при этом среднее значение резонансной частоты составило 9,1 кГц.

Благодарности

Работа выполнена при финансовой поддержке Минобрнауки России в рамках соглашения №14.579.21.0078 о предоставлении субсидий. Уникальный идентификатор проекта RFMEFI57914X0078.

Список литературы

  1. 1. Kilic O. J.Acoust. Soc. Am. / O. Kilic, M.J.F. Digonnet, G.S. Kino, O. Solgaard. – 2011. – №129 (4). – P. 1837–1850.
  2. 2. Yegorov F.А. International Journal of Applied Engineering Research / F.А. Yegorov, V.V. Amelichev, S.S. Generalov, S.V. Nikiforov, S.V. Shamanayev, Ya.V. Goldberg. – Volume 10. – №21 (2015). – P. 42750–42752.
  3. 3. Амеличев В.В. Конструктивно-технологический базис создания электроакустических преобразователей / В.В. Амеличев, А.В. Ильков. – М.: Техносфера, 2012. – С. 88.
  4. 4. Amelichev V.V. // International Journal of Applied Engineering Research, V.V. Amelichev, S.S. Generalov, S.V. Nikiforov, G.P. Solovyova, М.I. Smekhova, V.V. Platonov. – Volume 10. – №21 (2015). – P. 42767–42769.

Комментарии(0)

При добавлении комментария укажите:
  • степень актуальности публикуемого материала;
  • общую оценку (оригинальность и актуальность темы, полнота, глубина, всесторонность раскрытия темы, логичность, связность, доказательность, структурная упорядоченность, характер и достоверность примеров, иллюстративного материала, убедительность выводов);
  • недостатки, недочеты;
  • вопросы и пожелания Автору.