Чувствительный элемент для волоконно-оптического преобразователя гидроакустического сигнала
Статья в сборнике трудов конференции
DOI: 10.21661/r-115756
Open Access


- Опубликовано в:
- III Международная научно-практическая конференция «Наука, образование, общество: тенденции и перспективы развития». Том 2
- Авторы:
- Егоров Ф.А. 1 , Амеличев В. В. 2 , Генералов С. С. 2
- Рубрика:
- Технические науки (электромеханика, приборостроение, машиностроение, металлургия и др.)
- Рейтинг:
- Статья просмотрена:
- 1921 раз
- Размещено в:
- eLibrary.ru
1 Фрязинский филиал ФГБУН «Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН»
2 ООО «НПП «Технология»
2 ООО «НПП «Технология»
- ГОСТ
Для цитирования:
Егоров Ф. А. Чувствительный элемент для волоконно-оптического преобразователя гидроакустического сигнала: сборник трудов конференции. / Ф. А. Егоров, В. В. Амеличев, С. С. Генералов // Наука, образование, общество: тенденции и перспективы развития : материалы III Междунар. науч.-практ. конф. (Чебоксары, 11 дек. 2016 г.). В 2 т. Т. 2 / редкол.: О. Н. Широков [и др.] – Чебоксары: Центр научного сотрудничества «Интерактив плюс», 2016. – Т. 2. – С. 38-42. – ISBN 978-5-9909215-7-3. – DOI 10.21661/r-115756.
- Полный текст
- Метрики
DOI: 10.21661/r-115756
Аннотация
Данная работа посвящена разработке микромеханического чувствительного элемента для волоконно-оптического преобразователя гидроакустического сигнала (ВОПГАС). Разработанный экспериментальный чувствительный элемент ВОПГАС представляет собой кремниевый кристалл с тонкой восьмигранной диэлектрической мембраной, закрепленной на кремниевой рамке. В центральной области гофрированной мембраны сформирован отражающий свет элемент на основе комбинации слоев Ni и NiCr общей толщиной 0,5 мкм. Среднее значение механической чувствительности экспериментального чувствительного элемента ВОПГАС в условиях водной среды составило 114 нм/Па, в диапазоне частот от 100 Гц до 6 кГц, при этом среднее значение резонансной частоты составило 9,1 кГц.
Ключевые слова
Благодарности
Работа выполнена при финансовой поддержке Минобрнауки России в рамках соглашения №14.579.21.0078 о предоставлении субсидий. Уникальный идентификатор проекта RFMEFI57914X0078.Список литературы
- 1. Kilic O. J.Acoust. Soc. Am. / O. Kilic, M.J.F. Digonnet, G.S. Kino, O. Solgaard. – 2011. – №129 (4). – P. 1837–1850.
- 2. Yegorov F.А. International Journal of Applied Engineering Research / F.А. Yegorov, V.V. Amelichev, S.S. Generalov, S.V. Nikiforov, S.V. Shamanayev, Ya.V. Goldberg. – Volume 10. – №21 (2015). – P. 42750–42752.
- 3. Амеличев В.В. Конструктивно-технологический базис создания электроакустических преобразователей / В.В. Амеличев, А.В. Ильков. – М.: Техносфера, 2012. – С. 88.
- 4. Amelichev V.V. // International Journal of Applied Engineering Research, V.V. Amelichev, S.S. Generalov, S.V. Nikiforov, G.P. Solovyova, М.I. Smekhova, V.V. Platonov. – Volume 10. – №21 (2015). – P. 42767–42769.
Комментарии(0)