Sensitive element for fiber-optic converter of sonar signal
Proceeding
DOI: 10.21661/r-115756
Open Access
- Published in:
- 3d International Scientific and Practical Conference «Science, education, society: tendencies and future development». Volume 2
- Authors:
- Egorov F. A. 1 , Amelichev V. V. 2 , Generalov S. S. 2
- Work direction:
- Технические науки (электромеханика, приборостроение, машиностроение, металлургия и др.)
- Rating:
- Article accesses:
- 1948
- Published in:
- eLibrary.ru
1 Fryazino Brunch FSFI of Science "V.A. Kotelnikov Institute of Radiotechnology and Electronics RAS"
2 LLC "Research and Development Enterprise "Tekhnologia"
2 LLC "Research and Development Enterprise "Tekhnologia"
- APA
For citation:
Egorov F. A., Amelichev V. V., & Generalov S. S. (2016). Sensitive element for fiber-optic converter of sonar signal. Science, education, society: tendencies and future development, 2, 38-42. Cheboksary: SCC "Interactive plus", LLC. https://doi.org/10.21661/r-115756
- Full text
- Metrics
DOI: 10.21661/r-115756
Abstract
Данная работа посвящена разработке микромеханического чувствительного элемента для волоконно-оптического преобразователя гидроакустического сигнала (ВОПГАС). Разработанный экспериментальный чувствительный элемент ВОПГАС представляет собой кремниевый кристалл с тонкой восьмигранной диэлектрической мембраной, закрепленной на кремниевой рамке. В центральной области гофрированной мембраны сформирован отражающий свет элемент на основе комбинации слоев Ni и NiCr общей толщиной 0,5 мкм. Среднее значение механической чувствительности экспериментального чувствительного элемента ВОПГАС в условиях водной среды составило 114 нм/Па, в диапазоне частот от 100 Гц до 6 кГц, при этом среднее значение резонансной частоты составило 9,1 кГц.
Acknowledgments
Работа выполнена при финансовой поддержке Минобрнауки России в рамках соглашения №14.579.21.0078 о предоставлении субсидий. Уникальный идентификатор проекта RFMEFI57914X0078.References
- 1. Kilic O. J.Acoust. Soc. Am. / O. Kilic, M.J.F. Digonnet, G.S. Kino, O. Solgaard. – 2011. – №129 (4). – P. 1837–1850.
- 2. Yegorov F.А. International Journal of Applied Engineering Research / F.А. Yegorov, V.V. Amelichev, S.S. Generalov, S.V. Nikiforov, S.V. Shamanayev, Ya.V. Goldberg. – Volume 10. – №21 (2015). – P. 42750–42752.
- 3. Амеличев В.В. Конструктивно-технологический базис создания электроакустических преобразователей / В.В. Амеличев, А.В. Ильков. – М.: Техносфера, 2012. – С. 88.
- 4. Amelichev V.V. // International Journal of Applied Engineering Research, V.V. Amelichev, S.S. Generalov, S.V. Nikiforov, G.P. Solovyova, М.I. Smekhova, V.V. Platonov. – Volume 10. – №21 (2015). – P. 42767–42769.
Comments(0)