Сахбиев Тимур Рафилевич

автор статьи отмечает, что существует множество методов для измерения толщины и оптических характеристик тонких пленок на подложках. Достоинством бесконтактных методов, к которым, помимо прочих, относятся двухчастотные оптические методы, является возможность проводить измерения, не разрушая материал и не изменяя его свойства. Основным результатом выполняемой работы является решение важной научно-технической проблемы – улучшение метрологических характеристик и расширение функциональных возможностей лазерных систем контроля толщины и диэлектрических параметров тонких пленок, основанных на развит...