Список публикаций по ключевому слову: «амплитудно-фазовая модуляция»



Технические науки (электромеханика, приборостроение, машиностроение, металлургия и др.)

Дата публикации: 28.11.2015 г.
Оцените материал Средняя оценка: 0 (Всего: 0)
Сахбиев Тимур Рафилевич , аспирант
ФГБОУ ВО «Казанский национальный исследовательский технический университет им. А.Н. Туполева-КАИ» , Татарстан Респ

«Двухчастотные методы определения толщины и диэлектрических параметров тонких пленок»

Скачать статью

Автор статьи отмечает, что существует множество методов для измерения толщины и оптических характеристик тонких пленок на подложках. Достоинством бесконтактных методов, к которым, помимо прочих, относятся двухчастотные оптические методы, является возможность проводить измерения, не разрушая материал и не изменяя его свойства. Основным результатом выполняемой работы является решение важной научно-технической проблемы – улучшение метрологических характеристик и расширение функциональных возможностей лазерных систем контроля толщины и диэлектрических параметров тонких пленок, основанных на развитии теории и техники симметричной двухчастотной рефлектометрии на базе амплитудно-фазового метода преобразования одночастотного когерентного излучения в симметричное двухчастотное.