Цифровое устройство перемещения образцов и его испытание в вакуумной технологической установке
Аннотация
в статье рассматривается цифровое устройство с шаговым двигателем для проведения технологических операций с перемещением образцов в вакуумной камере. Автором рассчитаны параметры устройства, сконструированы блок управления и электромеханическая часть. Проведена апробация устройства в вакуумной камере установки вакуумной дуги ВДУ в лаборатории ННЛОТ. Далее, устройство использовалось для заданного времени экспонирования образцов под плазменным потоком для напыления тонких покрытий. По результатам экспериментов изучены зависимости в структуре полученных покрытий и рассчитаны физические параметры...
подробнее