Список публикаций по ключевому слову: «цифровое устройство»


Технические науки

Дата публикации: 26.03.2025 г.
Оцените материал Средняя оценка: 0 (Всего: 0)
Жукешова Айнур Ануаркызы , учащаяся
Гимназия №132 , Казахстан
Амренова Асем Уахитовна , канд. физ.-мат. наук , старший научный сотрудник
ТОО «Национальная нанотехнологическая лаборатория открытого типа» , Казахстан

«Цифровое устройство перемещения образцов и его испытание в вакуумной технологической установке»

Скачать статью

В статье рассматривается цифровое устройство с шаговым двигателем для проведения технологических операций с перемещением образцов в вакуумной камере. Автором рассчитаны параметры устройства, сконструированы блок управления и электромеханическая часть. Проведена апробация устройства в вакуумной камере установки вакуумной дуги ВДУ в лаборатории ННЛОТ. Далее, устройство использовалось для заданного времени экспонирования образцов под плазменным потоком для напыления тонких покрытий. По результатам экспериментов изучены зависимости в структуре полученных покрытий и рассчитаны физические параметры осаждения в зависимости от времени экспонирования. Наблюдаемые характеристики покрытия связываются с процессом кластеризации структурных элементов покрытия.