Список публикаций по ключевому слову: «метод характеристик»


Естественные науки (физические и химические науки)

Дата публикации: 22.02.2017 г.
Оцените материал Средняя оценка: 0 (Всего: 0)
Земнов Кирилл Эдуардович , аспирант
Чащин Евгений Дмитриевич , аспирант
Белова Ирина Михайловна , канд. физ.-мат. наук , доцент
ФГБОУ ВО «Московский политехнический университет» , Москва г

«Обзор методов моделирования процесса травления»

Скачать статью

Как отмечают авторы данной статьи, продвижение фронта травления представляет собой в основном геометрическую задачу. Выбор способа описания эволюции определяет точность аппроксимации профиля и затраты машинного времени. Для моделирования используются три основных способа и их модификации: метод струны; метод характеристик; метод ячеек.