Белова Ирина Михайловна

Место работы

Организация:
ФГБОУ ВО «Московский политехнический университет»
Должность:
доцент
Звание:
канд. физ.-мат. наук

Статьи автора(1)

Обзор методов моделирования процесса травления

07.02.2017

Аннотация

как отмечают авторы данной статьи, продвижение фронта травления представляет собой в основном геометрическую задачу. Выбор способа описания эволюции определяет точность аппроксимации профиля и затраты машинного времени. Для моделирования используются три основных способа и их модификации: метод струны; метод характеристик; метод ячеек.
подробнее