Belova Irina Mikhailovna

Place of work

Organization:
FSBEI of HE «Moscow Polytechnic University»
Position:
доцент
Degree:
candidate of physical and mathematical sciences

Author's articles(1)

Обзор методов моделирования процесса травления

07.02.2017

Annotation

как отмечают авторы данной статьи, продвижение фронта травления представляет собой в основном геометрическую задачу. Выбор способа описания эволюции определяет точность аппроксимации профиля и затраты машинного времени. Для моделирования используются три основных способа и их модификации: метод струны; метод характеристик; метод ячеек.
more