Обзор методов моделирования процесса травления
Proceeding
- Published in:
- XI International Scientific and Practical Conference «Scientific studies: from theory to practice». Volume 1
- Authors:
- Zemnov K. E. 1 , Chashchin E. D. 1 , Belova I. M. 1
- Work direction:
- Естественные науки (физические и химические науки)
- Rating:
- Article accesses:
- 2217
- Published in:
- eLibrary.ru
1 FSBEI of HE «Moscow Polytechnic University»
- APA
For citation:
Zemnov K. E., Chashchin E. D., & Belova I. M. (2017). Обзор методов моделирования процесса травления. Scientific studies: from theory to practice, 1(1 (11)), 31-35. Cheboksary: SCC "Interactive plus", LLC.
- Full text
- Metrics
Abstract
Как отмечают авторы данной статьи, продвижение фронта травления представляет собой в основном геометрическую задачу. Выбор способа описания эволюции определяет точность аппроксимации профиля и затраты машинного времени. Для моделирования используются три основных способа и их модификации: метод струны; метод характеристик; метод ячеек.
References
- 1. Галперин В.А. Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях / В.А. Галперин, Е.В. Данилкин, А.И. Мочалов. – М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2013. – 285 с.
- 2. Королев М.А. Технология, конструкции и методы кремниевых интегральных микросхем / М.А. Королев, Т.Ю. Крупкина, М.А. Ревелева. – М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2012. – 399 с.
- 3. Мухамадеев Р.А. Моделирование процессов травления микро- и наноструктур с использованием программного модуля «NEMO etching». Доклады ТУСУРа / Р.А. Мухамадеев, Т.И. Данилина. – 2014. – №1 (31). – С. 95–98.
- 4. Травление [Электронный ресурс]. – Режим доступа: https://ru.wikipedia.org/wiki/Травление (дата обращения: 12.01.2017).
Comments(0)