List of publications on a keyword: «метод ячеек»
Естественные науки (физические и химические науки)
Publication date: 22.02.2017
Evaluate the material Average score: 0 (Всего: 0)
Evgenii D. Chashchin
Irina M. Belova , candidate of physical and mathematical sciences
FSBEI of HE «Moscow Polytechnic University» , Москва г
«Обзор методов моделирования процесса травления»
Как отмечают авторы данной статьи, продвижение фронта травления представляет собой в основном геометрическую задачу. Выбор способа описания эволюции определяет точность аппроксимации профиля и затраты машинного времени. Для моделирования используются три основных способа и их модификации: метод струны; метод характеристик; метод ячеек.