Список публикаций по ключевому слову: «мишень»
Технические науки
Дата публикации: 28.12.2023 г.
Оцените материал Средняя оценка: 0 (Всего: 0)
Технологический университет Китая , Китайская Народная Республика
«Осаждение покрытий в смешанном потоке металлического пара и быстрых молекул газа»
Описано осаждение покрытий на диэлектрики с использованием источника атомов металла в смеси с быстрыми молекулами газа, образованными при перезарядке ускоренных ионов в рабочей камере. Атомы металла образуются при распылении ионами мишени на дне полого катода внутри источника. При использовании смеси аргона с азотом осаждаются со скоростью до 4 мкм/ч нитридные покрытия, непрерывно бомбардируемые молекулами с энергией, регулируемой от 10 до 300 эВ.