Issledovaniia materialov i struktur, primeniaemykh dlia sozdaniia chuvstvitel'nykh elementov datchikov IK-izlucheniia
Proceeding
- Published in:
- International Scientific and Practical Conference «Scientific studies and modern education»
- Author:
- Chuprina E. A. 1
- Work direction:
- Технические науки (электромеханика, приборостроение, машиностроение, металлургия и др.)
- Rating:
- Article accesses:
- 1170
- Published in:
- eLibrary.ru
1 FSAEI of HE "National Research University of Electronic Technology"
- APA
For citation:
Chuprina E. A. (2019). Issledovaniia materialov i struktur, primeniaemykh dlia sozdaniia chuvstvitel'nykh elementov datchikov IK-izlucheniia. Scientific studies and modern education, 112-114. Cheboksary: SCC "Interactive plus", LLC.
- Full text
- Metrics
Abstract
В статье рассматриваются перспективные разработки материалов и методов создания тонких пленок, используемых в матрицах датчиков ИК-излучения. Показаны преимущества и недостатки описанных материалов. Приведены характеристики экспериментальных устройств на основе полученных пленок.
References
- 1. Войцеховский А.В. Неохлаждаемые микроболометры на основе поликристаллического SiGe для инфракрасного диапазона / А.В. Войцеховский, Н.А. Кульчицкий, А.А. Мельников [и др.] // Нано- и микросистемная техника. – 2013. – №2.
- 2. Демьяненко М.А. Разработка мозаичных неохлаждаемых микроболометрических приемников инфракрасного и терагерцового спектральных диапазонов форматом до 3072х576 и более / М.А. Демьяненко, Д.Г. Есаев, А.Г. Клименко // Успехи прикладной физики. – 2014. – Т. 2, №2.
- 3. Демьяненко М.А. Неохлаждаемое микроболометрическое фотоприемное устройство формата 320х240 на основе золь-гель VOx / М.А. Демьяненко, Б.И. Фомин, Л.Л. Васильева [и др.] // Прикладная физика. – 2010. – №4.
- 4. Замбург Е.Г. Электрофизические свойства пленок ZnO и VOx, полученных методом импульсного лазерного осаждения / Е.Г. Замбург, А.В. Михайличенко, В.В. Пташник // Известия Южного федерального университета. Серия: Технические науки. – 2011. – Т. 117, №4.
- 5. Сизов Ф.Ф. Многоэлементные приемники терагерцового излучения на CdHgTe / Ф.Ф. Сизов, М.В. Апатская, Ж.В. Гуменюк-Сычевская [и др.] // Прикладная физика. – 2011. – №2.
- 6. Якушев М.В. Гетероструктуры CdHgTe на подложках Si (310) большой площади для матричных ИК фотоприемников коротковолнового спектрального диапазона / М.В. Якушев, В.С. Варавин, В.Г. Ремесник [и др.] // Физика и техника полупроводников. – 2014. – Т. 48, №6.
Comments(0)