Issledovanie metodov silovoi mikroskopii i vliianiia osnovnykh elementov skaniruiushchego zondovogo mikroskopa, s tsel'iu uluchsheniia sistem zashchity ot vneshnikh vozdeistvii
Annotation
в статье рассматриваются современные методы сканирования поверхности наноструктур, влияние особенностей составляющих узлов микроскопа на работу конструкции. Отдельно рассмотрены факторы внешнего воздействия, влияющие на работу микроскопа и системы защиты от них.
more