Tsifrovoe ustroistvo peremeshcheniia obraztsov i ego ispytanie v vakuumnoi tekhnologicheskoi ustanovke
Proceeding
DOI: 10.21661/r-564503
Open Access
- Published in:
- International Scientific and Practical Conference «Issues of Science and Education: New Approaches and Current Studies»
- Author:
- Zhukeshova A. A. 1
- Scientific adviser:
- Amrenova A. U.2
- Work direction:
- Технические науки
- Rating:
- Article accesses:
- 91
- Published in:
- Информрегистр
1 Gimnaziia 132
2 TOO "Natsional'naia nanotekhnologicheskaia laboratoriia otkrytogo tipa"
2 TOO "Natsional'naia nanotekhnologicheskaia laboratoriia otkrytogo tipa"
- Full text
- Metrics
DOI: 10.21661/r-564503
Abstract
В статье рассматривается цифровое устройство с шаговым двигателем для проведения технологических операций с перемещением образцов в вакуумной камере. Автором рассчитаны параметры устройства, сконструированы блок управления и электромеханическая часть. Проведена апробация устройства в вакуумной камере установки вакуумной дуги ВДУ в лаборатории ННЛОТ. Далее, устройство использовалось для заданного времени экспонирования образцов под плазменным потоком для напыления тонких покрытий. По результатам экспериментов изучены зависимости в структуре полученных покрытий и рассчитаны физические параметры осаждения в зависимости от времени экспонирования. Наблюдаемые характеристики покрытия связываются с процессом кластеризации структурных элементов покрытия.
Funding Agency | Grant Number |
|---|---|
| МОН РК | АР19676182 |
| Работа была выполнена при финансовой поддержке Министерства Образования и Науки РК в рамках гранта №АР19676182. | |
References
- 1. Розанов Л.Н. Вакуумная техника / Л.Н. Розанов. – М.: ВШ, 1982. – 207 с.
- 2. Гибридные шаговые двигатели для работы в вакууме [Электронный ресурс]. – Режим доступа: www.lasercomponents.ru (дата обращения: 14.02.2025).
- 3. Amrenova А.U. The deposition of films and particles using pulsed vacuum arc plasma at different pressure and temperature / А.U. Amrenova, A.M. Zhukeshov, B.M. Ibraev [и др.] // HTMP. – 2020 – T. 24. – С. 157–165. – DOI 10.1615/HighTempMatProc.2020034924. – EDN JYHJAH
- 4. Wegner K. Design of metal nanoparticles synthesis by vapor flow condensation / K. Wegner // Chem. Eng. Science. – 2002. – Т. 57. №10. – С. 1753–1762. – EDN AXOYWB
- 5. Kun'ichi Miyazawa, Masaru Yoshitake, Yumi Tanaka (2017). HRTEM analyses of the platinum nanoparticles prepared on graphite particles using coaxial arc plasma deposition J. Nanopart. Res. 19:19110.1007/s11051-017-3895-6
Comments(0)