List of publications on a keyword: «интерферометр Фабри-Перо»
Технические науки (электромеханика, приборостроение, машиностроение, металлургия и др.)
Publication date: 30.12.2016
Evaluate the material Average score: 0 (Всего: 0)
Fryazino Brunch FSFI of Science "V.A. Kotelnikov Institute of Radiotechnology and Electronics RAS" , Московская обл
Vladimir V. Amelichev , candidate of engineering sciences
Sergey S. Generalov
LLC "Research and Development Enterprise "Tekhnologia" , Москва г
«Sensitive element for fiber-optic converter of sonar signal»
Данная работа посвящена разработке микромеханического чувствительного элемента для волоконно-оптического преобразователя гидроакустического сигнала (ВОПГАС). Разработанный экспериментальный чувствительный элемент ВОПГАС представляет собой кремниевый кристалл с тонкой восьмигранной диэлектрической мембраной, закрепленной на кремниевой рамке. В центральной области гофрированной мембраны сформирован отражающий свет элемент на основе комбинации слоев Ni и NiCr общей толщиной 0,5 мкм. Среднее значение механической чувствительности экспериментального чувствительного элемента ВОПГАС в условиях водной среды составило 114 нм/Па, в диапазоне частот от 100 Гц до 6 кГц, при этом среднее значение резонансной частоты составило 9,1 кГц.