List of publications on a keyword: «лазерное управляемое термораскалывание (ЛУТ)»
Технические науки (электромеханика, приборостроение, машиностроение, металлургия и др.)
Publication date: 14.08.2015
Evaluate the material Average score: 0 (Всего: 0)
Vladimir S. Kondratenko , doctor of engineering sciences, professor
Vladimir E. Borisovskii , doctor of engineering sciences, professor
Институт высоких технологий ФГБОУ ВПО «Московский государственный университет приборостроения и информатики» , Москва г
«Оптимизация лазерного термораскалывания кремниевых пластин на кристаллы с органическими светоизлучающими структурами»
В работе теоретически и экспериментально исследованы зависимости и влияния скорости и плотности мощности лазерного излучения с эллиптическим сечением пучка на глубину трещины, образующейся в процессе ЛУТ на установке РТ‐350. Основное внимание уделяется кремниевым пластинам толщиною 725 мкм, т.к. именно их лазерная обработка представляется наиболее перспективной в производстве микродисплеев на основе органических светоизлучающих структур (ОСИД или OLED).