List of publications on a keyword: «микросистемная техника»
Технические науки (электромеханика, приборостроение, машиностроение, металлургия и др.)
Publication date: 19.11.2015
Evaluate the material Average score: 5 (Всего: 3)
St. Petersburg Institute of Machinery of St. Petersburg Polytechnic University named after Peter the Great , Санкт-Петербург г
«Влияние расхода полимеризующего газа CHF3 на технологические параметры плазмохимического травления кремния»
Оптимизация операционных параметров глубокого анизотропного плазменного травления кремния требует четкого понимания влияния каждого из них на технологические параметры и качество результата травления. В данной работе было рассмотрено влияние расхода полимеризующего газа на скорость, селективность, анизотропию и равномерность травления, а также на значение угла наклона вертикальной стенки при формировании глубоких структур (канавок) в кремнии методом ПХТ (плазмохимическое травление). Проведенные эксперименты позволили установить зависимости вышеперечисленных характеристик от расхода полимеризующего газа и связать их с толщиной защитной пленки, образующейся на стадии пассивации