List of publications on a keyword: «кремниевая пластина»
Технические науки (электромеханика, приборостроение, машиностроение, металлургия и др.)
Publication date: 19.11.2015
Evaluate the material Average score: 0 (Всего: 0)
Aishat R. Shakhmaeva , candidate of engineering sciences
Iusup P. Shangereev
Azamat I. Murtazaliev
FSFEI of HE “Dagestan State Technical University” , Дагестан Респ
«Способ формирования активной Р+-области для изготовления солнечных элементов»
В данной статье изложены результаты проведения процесса диффузии бора с применением газообразного источника – треххлористого бора (BCL3), при следующем расходе газов: кислород O2 = 12 л/ч, азот N2 = 380 л/ч, N2 + H2 = 380 л/ч, BCL3 = 2 л/ч (1000 ppm). Температура процесса 9000°С, длительность процесса 15 ± 5 минут.