Список публикаций по ключевому слову: «кремниевая пластина»
Технические науки (электромеханика, приборостроение, машиностроение, металлургия и др.)
Дата публикации: 19.11.2015 г.
Оцените материал Средняя оценка: 0 (Всего: 0)
Шахмаева Айшат Расуловна , канд. техн. наук , доцент
Шангереев Юсуп Пахрутдинович , студент
Муртазалиев Азамат Ибрагимович , студент
ФГБОУ ВО «Дагестанский государственный технический университет» , Дагестан Респ
«Способ формирования активной Р+-области для изготовления солнечных элементов»
В данной статье изложены результаты проведения процесса диффузии бора с применением газообразного источника – треххлористого бора (BCL3), при следующем расходе газов: кислород O2 = 12 л/ч, азот N2 = 380 л/ч, N2 + H2 = 380 л/ч, BCL3 = 2 л/ч (1000 ppm). Температура процесса 9000°С, длительность процесса 15 ± 5 минут.