Способ формирования активной Р+-области для изготовления солнечных элементов
Аннотация
в данной статье изложены результаты проведения процесса диффузии бора с применением газообразного источника – треххлористого бора (BCL3), при следующем расходе газов: кислород O2 = 12 л/ч, азот N2 = 380 л/ч, N2 + H2 = 380 л/ч, BCL3 = 2 л/ч (1000 ppm). Температура процесса 9000°С, длительность процесса 15 ± 5 минут.
подробнее