List of publications on a keyword: «схема управления»
Технические науки
Gimnaziia 132 , Kazakhstan
Asem U. Amrenova , candidate of physical and mathematical sciences
TOO "Natsional'naia nanotekhnologicheskaia laboratoriia otkrytogo tipa" , Kazakhstan
«Tsifrovoe ustroistvo peremeshcheniia obraztsov i ego ispytanie v vakuumnoi tekhnologicheskoi ustanovke»
В статье рассматривается цифровое устройство с шаговым двигателем для проведения технологических операций с перемещением образцов в вакуумной камере. Автором рассчитаны параметры устройства, сконструированы блок управления и электромеханическая часть. Проведена апробация устройства в вакуумной камере установки вакуумной дуги ВДУ в лаборатории ННЛОТ. Далее, устройство использовалось для заданного времени экспонирования образцов под плазменным потоком для напыления тонких покрытий. По результатам экспериментов изучены зависимости в структуре полученных покрытий и рассчитаны физические параметры осаждения в зависимости от времени экспонирования. Наблюдаемые характеристики покрытия связываются с процессом кластеризации структурных элементов покрытия.