Список публикаций по ключевому слову: «МЭМС»
Технические науки
ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники» , Москва г
«Разработка детектора удара на основе МЭМС сенсора для сабельного оружия»
Цель работы – разработать систему детектирования удара для фехтовальных сабель с возможностью определять силу и вид нанесенного удара в реальном времени. В процессе работы проводились экспериментальные исследования МЭМС датчиков для системы. Для решения данной задачи был выбран в качестве датчика движения MPU-9250. Диапазон измерения акселерометра ± 16g, гироскопа ± 2000 (градусов в секунду). В результате исследования был создан лабораторный образец системы детектирования сабельного удара. Устройство крепится к двойнику на гарде сабли таким образом, что «режущая поверхность» сонаправлена с направлением оси X, отрицательное направление оси Z акселерометра с острием сабли.
Технические науки (электромеханика, приборостроение, машиностроение, металлургия и др.)
НПК «Технологический центр» , Москва г
Генералов Сергей Сергеевич , старший научный сотрудник
ООО «НПП «Технология» , Москва г
Никифоров Сергей Валерьевич , младший научный сотрудник
НПК «Технологический центр» , Москва г
«Создание диэлектрических мембран с низким уровнем механических напряжений»
В статье представлены результаты расчета механических напряжений в мембранах на основе комбинации пленок SiO2 и Si3N4. Рассчитано оптимальное соотношение толщин данных пленок для минимизации механических напряжений. Показано, что превышение данного значения ведет к преобладанию растягивающих напряжений, что приводит к большему «буклетированию». Показано, что гофрирование мембран позволяет увеличить механическую чувствительность за счет локализации в них механических напряжений